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基于雙加工工位的微型腔結(jié)構(gòu)電加工方法及裝置
成果領(lǐng)域:
推廣方式:
成果歸屬企業(yè): 深圳大學(xué)
成果鑒定時間:
成果介紹
本實用新型公開了一種X射線相位靈敏度分辨率板,包括基底、相位結(jié)構(gòu);相位結(jié)構(gòu)的尺寸與成像系統(tǒng)的X射線能量相對應(yīng),且相位結(jié)構(gòu)呈空間周期分布,相位結(jié)構(gòu)為設(shè)置在基底表面的第一相位結(jié)構(gòu);或相位結(jié)構(gòu)為在基底內(nèi)開設(shè)空腔形成的第二相位結(jié)構(gòu);或相位結(jié)構(gòu)為在基底內(nèi)開設(shè)空腔并在空腔中填充形成的第三相位結(jié)構(gòu);相位結(jié)構(gòu)和空間周期之間關(guān)系滿足:在相位結(jié)構(gòu)不變時,空間周期逐次變化;在空間周期不變時,相位結(jié)構(gòu)逐次變化;基底、第一相位結(jié)構(gòu)、第三相位結(jié)構(gòu)采用低原子序數(shù)材料,且基底采用的材料與第一相位結(jié)構(gòu)和第三相位結(jié)構(gòu)采用材料不同。本實用新型可用于X射線相襯成像系統(tǒng)相位靈敏度和圖像分辨率的評估和實驗檢測。
成果應(yīng)用案例介紹
光學(xué)工程>成像系統(tǒng)>比成像系統(tǒng); 材料制品>板>x射線相位靈敏度分辨板; 測量實驗>檢測方法>實驗檢測; 計算控制>評價方法>評價
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